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电子显微镜的电子透镜系统
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北京长恒荣创科技

时间 : 2023-07-16 16:11 浏览量 : 30

电子透镜系统是电子显微镜中的一个重要组成部分,用于控制和聚焦电子束,以实现高分辨率和清晰的成像。电子透镜系统包括一系列电磁透镜和调节器件,可以通过电磁场的作用来操纵电子束的轨迹和聚焦度。下面将详细介绍电子显微镜的电子透镜系统。


磁场透镜:

电子显微镜中最常见的透镜是磁场透镜,它利用磁场的作用来聚焦电子束。磁场透镜通常由一组电磁线圈构成,通过控制电流的大小和方向来调节磁场的强度和方向。

对焦透镜(Condenser Lens):对焦透镜位于电子枪和样品之间,用于聚焦电子束。它的作用是使电子束汇聚成较小的直径,从而增加电子束的亮度和聚焦度。


物镜透镜(Objective Lens):物镜透镜位于样品和投影平面之间,用于进一步聚焦电子束并形成样品的放大图像。物镜透镜的设计和性能直接影响电子显微镜的分辨率和放大倍数。


次级透镜(Intermediate Lens):次级透镜位于物镜透镜和投影平面之间,用于调节电子束的轨迹和聚焦度。它在显微镜系统中起到衔接物镜透镜和投影透镜之间的作用。


电压调节器件:

除了磁场透镜外,电子显微镜的电子透镜系统还包括一些电压调节器件,用于调整透镜的焦距和聚焦度。

透镜电压调节器(Lens Voltage Control):透镜电压调节器通过改变透镜电势差来调节透镜的焦距。调节透镜电势差可以改变电子束通过透镜的轨迹,从而影响电子束的聚焦程度。


照明孔径调节器(Aperture Control):照明孔径调节器用于调节入射电子束的孔径大小。调节照明孔径可以控制电子束的大小和角度,进一步影响电子束的聚焦度和深度。


调节器件:

电子显微镜的电子透镜系统还包括一些调节器件,用于控制和调整透镜的位置、倾角和焦点。

透镜位置调节器(Lens Position Adjuster):透镜位置调节器用于调整透镜的位置,以使透镜与电子束的路径对准。调整透镜的位置可以确保电子束正确通过透镜,使得聚焦效果最佳。


透镜倾斜调节器(Lens Tilt Adjuster):透镜倾斜调节器用于调整透镜的倾斜角度。调整透镜的倾斜角度可以改变电子束的轨迹,从而调节聚焦和成像的效果。


透镜焦点调节器(Lens Focus Adjuster):透镜焦点调节器用于调节透镜的焦点位置。通过调整透镜的焦点位置,可以控制电子束在样品上的聚焦程度,从而实现清晰的图像成像。


通过适当的电磁透镜的组合和调节器件的调整,电子透镜系统能够实现高分辨率、清晰度和对样品的高度控制。这使得电子显微镜能够观察到微小细节和高放大倍数的样品结构。


总结起来,电子透镜系统是电子显微镜中的关键部分,用于控制和聚焦电子束,以实现高分辨率和清晰的成像。它包括磁场透镜、电压调节器件和调节器件等组件,通过调节电子束的轨迹和聚焦度来实现优质的图像成像。电子透镜系统的设计和调整对电子显微镜的分辨率、聚焦度和放大倍数具有重要影响。


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